光學(xué)干涉儀是一種利用光的干涉現(xiàn)象來測量長度、厚度、折射率等物理量的儀器，測量原理是利用光的波動性和干涉現(xiàn)象，通過測量光程差的變化來測量物體的形狀和表面特征。光程差是指兩束光在傳播過程中所經(jīng)過的光程差異，它是由物體表面形狀和折射率的變化所引起的。當兩束光相遇時，它們會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象，干涉圖樣的形狀和大小與光程差有關(guān)，通過測量干涉圖樣的變化，可以得到物體表面的形狀和特征。
光學(xué)干涉儀的基本組成部分包括光源、分束器、反射鏡、光程差調(diào)節(jié)器和檢測器。在工作時，光源發(fā)出的光線經(jīng)過分束器分成兩束光線，經(jīng)反射鏡反射后再匯合。當兩束光線匯合后，由于光的波動性，它們會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象，形成干涉圖樣，通過觀察干涉條紋的形態(tài)和移動情況，可以計算出被測物體的長度或厚度等物理量。
光學(xué)干涉儀的應(yīng)用非常廣泛，比如在工業(yè)生產(chǎn)中用于測量機械零件的長度和厚度、在材料研究中用于測量材料的折射率和厚度、在生物醫(yī)學(xué)中用于測量細胞和組織的長度和厚度等等。
馬赫-曾德干涉儀屬于一種等光程比較干涉。通過比較被測物和參考物的相位（表現(xiàn)為條紋的變化），從而實現(xiàn)被測物的物理量的測量。馬赫-曾德干涉儀通常用于測量透明介質(zhì)折射率的微小變化，可用于氣體、液體、透明固體、沖擊波及熱傳導(dǎo)等方面的研究。
